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第八十九章 第二代光刻机诞生（第1页）

赵烨给这台光刻机设计的光刻机运动系统，是利用了杠杆原理来实现的。

毕竟现在这台机器还是几乎是纯手动，赵烨利用精密的丝杆，再带精密齿轮组，把底座的运动距离，放大了很多倍，这样才能实现光刻机外面设置的手轮，转动一圈，底座按照设计位移两微米。

这几乎是这个时代的极限了。

这样的手轮在光刻机的操作台上有七个，分别控制底座不同的运动路径。

等到这套系统被安装完毕后，几个专家立即就进行测试。

测试的工作比安装还要慢，等测试的工作完成后，整个地下室都响起了热烈的掌声。

“太不可思议了，太伟大了！

这简直就是奇迹！”

负责测量的人员，都猛烈的拍着巴掌，对这些高级技工，报以热烈的掌声。

这些精密加工，都是赵烨这几个人，一点点的用手完成的。

最后的移动精度，震惊了精密测量专业的专家。

要实现如此精密的位移，这一点儿都不简单。

掌声停止了，工作照常进行。

一些测量用的设备，一些被拆除了，还有一些被保留了下来。

然后就轮到透镜组进行安装了。

赵烨还有几个过来支援的高级钳工，一步步，一点点的把整套系统安装完毕，整整用了一个星期，第一台设备才算是正式诞生并通过了检测。

众人无不激动的掉泪，这几乎就是国家精密仪器的代表之作！

在此时此刻，它甚至可以说是全世界最精密的仪器之一都毫不过分。

众人激动过后，就是合影留念。

唯一还没有露出笑容的，只有一个泉教授。

“泉教授，明天就是试生产了，成败可就看你的灯泡了！”

没等赵烨上前说话，慈教授就已经拉着泉教授说了这么一句话。

搞的泉教授更加紧张了几分。

“争取一次通过，争取！”

泉教授可不敢把话说的太满，说实话，他是真的心里没底的。

赵烨一见对方这么说，也就没有过去再说什么，人家已经这么紧张了，自己就不去给人施加压力了。

这个时候，无论你说什么安慰话，反馈到对方脑子里的，都是无形的压力。

赵烨从地下车间走出了，就去看硅锭的处理了。

此时的硅锭，已经从一开始的30MM直径，扩大到了50MM左右了。

生产这个硅锭的是沪上一家工厂。

他们在赵烨提供的一些资料的帮助下，成功做出了这种规格的硅锭。

硅锭的纯净度虽然还有待提升，但是至少是能用的了，无非良品率低一些。

不过有赵烨这个BUG在，少量的硅锭他还是能处理的。

赵烨在切割好的硅晶片上一阵寻摸，一会儿拿起这个，一会儿又拿起那个。

外人以为他是观察切割的质量，可是没人知道，他是在处理晶圆。

总不能真的按照真是的成品率来吧？那也太折磨人了。

这经过一下他的手，成品率一下就上来了。

要是有人问为什么，那就是赶上了，巧合了，对方生产用心了。

还有一点，现在的晶圆直径还是很小，但赵烨他们的加工精度又远远不够，那么赵烨等人放弃了把晶圆切成一个矩形的思路，而是把芯片做成一个圆形。

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