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威廉姆斯的演讲刚结束,史密斯就举手提问:"
博士,您提到中微在等离子体控制算法上有独特创新,这与ASML的技术路线有何本质区别?"
会场瞬间安静。
李一凡知道,这是美国调查组精心准备的陷阱。
如果威廉姆斯说技术完全不同,就等于否定自己在ASML的研究成果;如果承认有相似之处,又会被质疑技术转移。
但李一凡早有准备。
昨晚他专门找威廉姆斯沟通过,现在看着对方从容不迫的样子,他知道这个老牌工程师已经完全理解了自己的意图。
"
很好的问题。
"
威廉姆斯走到投影屏幕前,调出一张复杂的技术路线图,"
让我用这张图来解释。
ASML在等离子体控制上采用的是经典的PID控制理论,这在90年代就已经成熟。
但中微另辟蹊径,开创了基于机器学习的自适应控制系统。
"
他快速在白板上写下一串数学公式:"
这是传统PID控制的局限,而这个..."
他又写下一个更复杂的方程,"
是中微的创新突破。
从数学本质上看,两者是完全不同的技术路径。
"
台下的调查组专家们交头接耳,细细研究那些方程。
李一凡注意到,技术专家詹姆斯的表情有了明显变化。
"
更重要的是,"
威廉姆斯继续说道,"
这种自适应算法让14nm刻蚀机在精度和稳定性上实现了质的飞跃。
去年在台积电的测试数据可以证明这一点。
"
他投影出一组对比数据,精确到小数点后六位。
这些都是真实的测试结果,每一个数字都经得起推敲。
"
史密斯先生,"
威廉姆斯直视着提问者,"
我在ASML工作时就提出过类似的创新设想,但并未被采纳。
而在中微,我看到了将这种突破性理念转化为现实的可能。
这正是我选择加入的原因。
"
史密斯还想继续追问,这时一个意外的声音打断了他。
"
我来补充几句。
"
德国西门子半导体前总裁汉斯·克劳斯站了起来,"
作为第三方,我可以证明中微的技术路线确实具有独创性。
事实上,我们最新的光刻胶配方就是专门针对这种创新算法开发的。
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