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中微公司实验室内部,威廉姆斯团队进行关键技术验证。
李明作为杰凡星投资的法人代表,专程来了解最新进展。
“这是我们的创新方案。”
威廉姆斯指着显微镜下的纳米光学涂层,“通过特殊的材料配比和工艺控制,我们实现了光透过率的大幅提升。”
尹志绕继续补充道:“最新测试数据,光透过率比传统提高了35%。
这意味着我们可以采用更长波长的光源方案,实现与短波长相同的分辨率。”
“完全规避了美国的专利壁垒?”
李明杰问出了关键。
“是的。”
威廉姆斯自信地说,“传统光刻机都在追求更短的波长,我们另辟蹊径,通过创新的光学系统设计和纳米涂层技术,找到了一条全新的技术路线。”
正说着,中科院光电所的张教授走进实验室。
作为国内纳米光学领域的权威,他受邀来验证这项突破性技术。
“理论模型很完善。”
张教授看完测试数据后说道,“关键是工艺稳定性。
目前的良品率如何?”
“首批样品测试的良品率达到85%。”
威廉姆斯说,“我们正在优化工艺参数,力争提高到90%以上。”
“这个数据很惊人。”
张教授赞叹道,“要知道,即使是ASmL,他们新技术的良品率也很难达到这个水平。”
李明杰追问:“量产还有哪些难点?”
“主要是三个方面。”
尹志绕说,“首先是纳米工艺涂层材料的批量生产,目前正在与南大光电合作开发。
其次是精密控制系统,需要进一步提高稳定性。
最后是集成,要确保各个环节无缝衔接。”
“时间预估?”
“如果一切顺利完成,三个月内就可以工程样机。”
威廉姆斯说,“接下来就是反复测试和优化,为量产做准备。”
就在此时,中微的法务总监匆匆赶来:“刚收到消息,ASmL正在申请一批新专利,可能会影响我们的技术路线。”
威廉姆斯仔细查看专利申请文件,立即说道:“不用担心。
他们的专利主要围绕短波长光源,与我们的技术路线完全不同。
这反而证明我们走对了路。”
“要抢先布局。”
李明杰说,“要让业务团队加快专利申请,在全球主要市场同步推进。
另外,核心技术资料要做好防护措施。”
“已经做了。”
尹志绕说,“我们采用分段保密方式,将核心技术分割成多个模块,分别存储和管理。
任何单一泄露都不会影响整体技术安全。”
这时,市科技局的工作人员来访,带来了一个好消息:星城市的半导体创新中心即将投用,将为中微提供更好的研发环境。
“太及时了。”
威廉姆斯说,“我们正需要更先进的实验设备。
特别是超定位测试平台,对工艺优化至关重要。”
李明杰立即拨通了哥哥李一凡的电话。
作为分管经济的省委常委,他需要了解这一重要进展。
“技术突破有了,但量产还需要时间。”
李明杰简要汇报,“不过最令人欣慰的是,我们找到了一条完全自主的技术路线。”
“这是关键。”
李一凡说,“技术创新不能总是跟在别人后面。
要利用这个机会,在新的模仿上实现超越。”
作为光刻胶研发的领军企业,南大光电与中微的技术突破密切相关。
“这是最新的测试报告。”
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